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中微公司全球首台高选择性刻蚀设备付运
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中微公司宣布其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备的全球首台机已付运，该设备针对GAA晶体管、3D NAND和3D DRAM等下一代三维器件工艺开发，填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。
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最新进展10月22日 16:47
中微公司Primo Domingo全球首台高选择性刻蚀设备已付运报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月22日
- IT之家中微公司Primo Domingo全球首台付运，面向GAA与3D DRAM高选择性刻蚀
中微公司宣布其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备的全球首台机已付运，该设备针对GAA晶体管、3D NAND和3D DRAM等下一代三维器件工艺开发，填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。
- 华尔街见闻 7x24 全球快讯中微公司Primo Domingo®高选择性刻蚀设备全球首台机付运
中微公司宣布其Primo Domingo®气相高选择性刻蚀设备全球首台机已顺利付运，填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。
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