中微公司Primo Domingo全球首台付运，面向GAA与3D DRAM高选择性刻蚀

中微公司宣布其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备的全球首台机已付运，该设备针对GAA晶体管、3D NAND和3D DRAM等下一代三维器件工艺开发，填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。