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朗道燧岩EUV光源样机首次公开亮相

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AI 综述

朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会上首次公开展示了极紫外(EUV)光源系统样机,该样机国产化率达到90%,标志着国产EUV光源技术取得重要进展。

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10月19日
  1. elsewhere
    朗道燧岩EUV光源样机首次公开亮相,国产化率90%

    朗道燧岩在第二十六届中国国际工业博览会上首次公开展示了极紫外(EUV)光源系统样机,该样机国产化率达到90%,标志着国产EUV光源技术取得重要进展。

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